白光共焦干涉顯微鏡是使用光干涉原理來展示物件的內部或表面的顯微鏡。光源發出的光經過擴束準直后，經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉。顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。主要由以下幾部分組成：
顯微物鏡：最前端為分光棱鏡，將照明光分為兩路，分別為參考臂和測量臂。當參考臂和測量臂光程近乎相等時，干涉條紋的對比度最大，通過筒鏡后方的CMOS元件可以記錄干涉條紋并導入軟件分析，可以測量出視場區域的微觀形貌，例如粗糙度測量。
場曲與畸變：顯微物鏡的場曲為20um左右，畸變0.0153%。
公差分析表明，該物鏡的公差寬松，易于裝配與加工，具有很高的量產價值。
清潔方法:
用干凈的布清潔顯微鏡的表面，包括目鏡、物鏡和平臺。
用清潔劑清洗顯微鏡的反射鏡和光纖。
清洗后，用干凈的布將顯微鏡擦干。
為防止塵埃污染，可以在顯微鏡上涂一層光學儀器專用的防塵脂。
